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中瑞祥烤膠機 勻膠機旋轉涂膠機作原理操作流程

是一種通過高速旋轉基片并利用離心力使膠液均勻涂覆的設備，主要用于半導體制造、光學鍍膜等領域。其核心原理是通過控制轉速、膠量和真空吸附來實現薄膜均勻性。

核心工作原理

勻膠機通過真空吸附固定基片，主軸電機驅動承片臺高速旋轉，離心力將滴加的膠液均勻分散在基片表面。膠膜厚度由轉速、膠液黏度及旋轉時間共同決定。 ?

操作流程

?預處理?：安裝電源、氣管，放置收膠鍋，確保真空泵無油且壓力標定準確。 ?

?滴膠?：在基片靜止或旋轉狀態下滴加膠液，部分設備支持上下刮邊技術去除多余膠液。 ?

?旋轉涂膠?：

低速旋轉（如500-1000 rpm）：初步鋪展膠液。

高速旋轉（如2000-5000 rpm）：離心力使膠液均勻分布。 ?

?烘烤?：部分流程需后續烘烤以固化膠膜。 ?

關鍵參數控制

?轉速精度?：直接影響膜厚均勻性，國際標準（如NIST）要求轉速誤差≤±1%。 ?

?真空吸附?：無油真空泵確保基片固定，避免“飛片"或膠液堵塞管道。 ?

注意事項

轉速與膠液黏度需匹配，過高可能導致膠膜過薄或破裂。 ?

定期維護真空系統，防止油污污染