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中瑞祥電阻電離復合真空計操作使用

通過?電阻規（低真空）?與?電離規（高真空）?組合，實現從大氣壓到高真空的連續測量。其核心原理基于氣體熱傳導特性與氣體分子電離效應。??

一、工作原理

?1. 電阻真空計部分（低真空測量）?

?物理基礎?：利用低壓下氣體的?熱傳導系數與壓強成正比?的特性。

?工作機制?：規管內金屬熱絲通以恒定電流保持溫度恒定（定溫式）。當氣體壓強降低時，氣體分子帶走的熱量減少，為維持熱絲溫度恒定，供電電路需自動降低加熱功率（或表現為熱絲端電壓/電流變化）。

?信號轉換?：通過測量補償熱絲溫度所需的?電壓或電流變化?，經微處理器非線性修正后，換算出對應的氣體壓強。測量范圍通常為 1.0 \times 10^5 \sim 1.0 \times 10^1.0×10

5

 ～1.0×10

?1

  Pa。??

?2. 熱陰極電離真空計部分（高真空測量）?

?物理基礎?：利用電子轟擊氣體分子產生離子的?電離效應?。

?工作機制?：

?電子發射?：燈絲（陰極）通電加熱發射電子。

?加速與碰撞?：電子在正電壓柵極（加速極）作用下加速，與氣體分子碰撞使其電離，產生正離子。

?離子收集?：負電壓收集極吸引正離子，形成?離子流 (I_+I

+

 )?。

?定量關系?：在發射電流 (I_eI

e

 ) 和規管靈敏度 (KK) 恒定時，離子流與氣體壓強 (PP) 成正比，即 I_+ = K \cdot I_e \cdot PI

+

 =K?I

e

 ?P。通過測量微弱的離子流即可確定壓強。測量范圍通常為 1.0 \times 10^ \sim 1.0 \times 10^1.0×10

?1

 ～1.0×10

?5

  Pa。??

二、操作使用邏輯

現代智能復合真空計通常采用?微處理器控制?，具備自動切換功能：

?自動模式（推薦）?：

開機后，?電阻單元?首先工作，測量從大氣壓到低真空段。

當電阻計測得壓強低于設定閾值（如 1.0 \sim 101.0～10 Pa，具體視型號而定）時，儀器?自動點亮電離規燈絲?，切換至電離單元進行高真空測量。

若系統壓強回升超過安全閾值（如 >10>10 Pa），儀器?自動關閉電離燈絲?，防止燈絲在低真空下氧化燒毀。??

?手動模式?：

用戶可獨立控制電阻計和電離計的開關。

?嚴禁?在壓強高于安全值（通常 >10>10 Pa）時手動開啟電離計，否則會導致燈絲瞬間燒毀。??

?校準與維護?：

?零點/滿度校準?：電阻規需定期在大氣壓（滿度）和高真空狀態（零點）下進行校準，以消除漂移。

?除氣操作?：電離規在使用前或讀數不穩定時，可進行“除氣"（加熱燈絲去除吸附氣體），但需在壓強低于 1.0 \times 10^1.0×10

?2

  Pa 時進行，且時間不宜過長。??

三、關鍵注意事項

?保護機制?：絕對避免在大氣壓下開啟電離規燈絲。

?氣體成分影響?：電阻規對不同氣體的熱導率敏感度不同，非空氣/氮氣環境需修正；電離規易受腐蝕性氣體或油蒸氣污染導致“中毒"。

?安裝位置?：電阻規與電離規應盡量安裝在同一真空室且無閥門阻隔的位置，以確保測量數據的一致性。??

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